東京エレクトロンデバイスのAI予知保全プラットフォーム「CX-D」、工場設備の状態監視を容易に実現

　東京エレクトロンデバイス株式会社（以下、TED）は16日、自社ブランド「inrevium（インレビアム）」において、工場設備の状態監視を容易に実現するAIを活用した予知保全プラットフォーム「CX-D」を提供すると発表した。同日より販売を開始する。

　CX-Dは、予知保全に必要な機能をシステムとして1つにまとめ、工場現場で設備状態の監視を容易に行えるように支援するアプライアンス製品。予知保全に必要な「データ収集」「可視化」「変化監視」「状態診断」「通知」などを行うための汎用的な機能や仕組みを実装しているため、企業の開発やシステム構築の負担を削減し、自社で素早く工場内で完結したシステムを導入・運用できる。

　具体的には、あらかじめ用意されている設定機能により、多様な設備・デバイスと接続・通信し、データを収集することが可能。Webブラウザで閲覧できる監視用ダッシュボードを、各設備に合わせてカスタマイズする機能を備えているので、監視ルームなどからアクセスして利用できる。

　さらに、通常の稼働状態を学習し、工場設備の稼働状態の変化を警告指数としてとらえて検知するAI技術を標準実装。工場設備の最適なしきい値での変化監視と、TEDが現在提供している判別モデル自動生成マシン「CX-M」で生成した分類モデル、多値モデルを使った状態診断により、さらに精度の高い予知保全が可能になるとした。

　なおTEDでは、活用シーンとして、装置（PLC）やセンサーからのデータ収集を集約し、AIを活用した複数設備の変化を常に定量的に監視する、といった例を紹介した。