TEDの異常判別プログラム自動生成マシン「CX-M」、複数の状態判別ができるモデルを作成可能に

　東京エレクトロン デバイス株式会社（TED）は9日、予知保全を実現する異常判別プログラム自動生成マシン「CX-M」において、新版「CX-M ver4.0」を販売開始すると発表した。複数の状態判別ができるモデルを自動生成する「多値判別モデル生成機能」を追加している。

　CX-Mは、数値データを用意するだけで、自社基準の設備状態の判別プログラムを生成する製品。時系列データを入力すると、独自ソフトウェアで「データクレンジング」「特徴の抽出」「機械学習による判別モデル作成」「判別精度検証」を行い、異常判別プログラムを自動で生成してくれる。また、生成したプログラムは出力でき、製造現場や、自社のシステムに組み込むなど任意の環境での利用可能とした。

　このCX-Mで予知保全を行う場合、装置の振動や音、センサーなどの時系列データを解析して特徴をとらえ、判別モデルを生成するが、従来は「正常」「異常」などの2値の状態判別が中心で、複数の状態の判別を行いたい場合は、それぞれの状態を判別するモデルの生成と運用管理が必要だったという。

　これに対して「多値判別モデル生成機能」では、複数の状態データを学習することにより、多値判別モデルを生成でき、装置データの「正常」「準正常」「異常1」「異常2」など、複数の状態判別を1つのモデルで行えるとした。