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東京エレクトロンデバイス、異常判別プログラム自動生成マシン「CX-M」に外れ値判定機能を追加
2018年11月14日
東京エレクトロンデバイス、異常判別プログラム自動生成マシン「CX-M」に原因分析を可能にする機能を追加
2019年12月12日
東京エレクトロンデバイスのAI予知保全プラットフォーム「CX-D」、工場設備の状態監視を容易に実現
2020年6月16日
東京エレクトロン デバイス、製造業の現場改善を支援する「即日始動!工場DXパッケージ」を提供
2022年4月6日