東京エレクトロンデバイス、生産設備の稼働監視AIの生成・監視を自動で行うソフトウェア「CX-W」を販売

　東京エレクトロンデバイス株式会社は6日、生産設備の稼働状態変化を検知する稼働監視AIの生成・監視を自動で行い、稼働監視運用を支援するクイックAI監視ソフトウェア「CX-W」の販売を開始した。

　CX-Wは、生産設備の通常の稼働状態からの変化を捉え、警告指数として定量的に記録・表示するソフトウェア。装置ごとの稼働情報から監視用AIを現場で自動生成し、リアルタイムに稼働監視し変化を捉える。

　近年、製造業の現場ではAI監視による製造装置の異常検知や故障予測などの予知保全が課題に掲げられているが、現場によっては製造装置の種類が多く、同じ製造装置でも機差（装置ごとの特性）や製造品の違いによって稼働状態が異なるため、装置ごとに稼働の監視用AIを開発する必要があるという。

　こうした課題に対し、CX-Wでは製造装置から通常稼働中のデータを取り込み、その数値分布や相関関係を学習し、装置の種類や特性、製造品などに合わせた装置ごとの監視用AIを生成する。学習データを個別に用意する必要がなく、監視用PCにインストールするだけで簡単に監視用AIの生成・監視ができる。

　また、監視中に製造装置の稼働状態に変化があった場合は、原因となったデータの種類と変化の度合いを示す警告指数を判定結果としてPC上に表示するため、ユーザーはすぐに予知保全対策を講じることができる。

　ソフトウェア動作環境は、CPUがARM系またはx86系。OSがWindowsまたはLinux（32bit/64bit）。メモリは2GB以上を推奨。認証用USB挿入用のUSBポートも必要となる。

　製品の価格は個別見積もり。東京エレクトロンデバイスでは、製造業の企業を対象に製品およびソリューションで、今後3年間で2億円の販売を見込む。