従来のプレーナー型トランジスタとBiCS FLASHで採用されている縦型トランジスタの違い（出典：東芝提供による資料）。BiCS FLASHは、円筒形状（マカロニチャネル構造）の絶縁膜を取り入れることで、トランジスタを微細化しても絶縁膜の特性を良好な状態に保つことができ、高速で安定した情報の消去、書き込み、読み出しを可能にしている。
